日刊 科学のニュース 2012年9月29日

半導体の回路はエッチングの技術で作られているが、エッチングの化学変化の過程をリアルタイムで見ることができる技術が開発された。

米イリノイ大学の研究者は、2つの光を異なる方向から当てて立体像をとらえる顕微鏡を開発した。このデバイスは、ナノメータースケールで、エッチングの表面のようすをリルタイムにとらえることができる。詳しくはここ（http://phys.org/news/2012-09-method-semiconductor-etching-happenswith.html）。